成果基本信息 |
成果名称 |
高纯金属大尺寸旋转靶材的冷喷涂制备技术 | |||
技术领域 |
新材料 | ||||
应用行业 |
金属材料 | ||||
技术成熟度 |
小试 | ||||
成果内容介绍 |
Ag、Nb、Ta、Cu等金属溅射靶材是集成电路、OLED器件、薄膜电池、智能玻璃等产品的重要基础耗材。针对传统熔铸和热喷涂技术制造靶材存在组织结构不均匀、晶粒粗大（熔铸的晶粒>100 μm）、孔隙等缺陷，与背板（管）结合性能差的问题，且铸造技术难以实现大尺寸靶材制造的现状，开展冷喷涂制备大型高纯金属旋转靶材的应用攻关，开发了组织结构均匀致密、晶粒细小、低氧化、材料利用率接近100%、结合性能好的大厚度涂层制备技术。整体水平达到国际先进水平。 |
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专利名称 |
高纯金属大尺寸旋转靶材的冷喷涂制备技术 | 专利号 |
（1）CN114231917A （2）CN108118326A （3）CN108195755A | ||
合作方式 |
合作开发 | ||||
联系人 |
谢迎春 | 联系方式 |
18802034985 | 单位 |
广东省科学院新材料研究所 |
