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热喷涂及冷喷涂技术领域科技成果 / 多晶硅反应炉铜电极修复及其表面银涂层制备

成果基本信息
成果名称
多晶硅反应炉铜电极修复及其表面银涂层制备
技术领域
新材料
应用行业
金属材料
技术成熟度
中试
成果内容介绍

针对多晶硅还原炉电极银涂层的制备瓶颈,采用冷喷涂技术开发高性能纯银涂层,提高了电极的导电性。同时,涂层厚度不受限制,结合力强,可减少以至于消除电极的杂质析出,寿命大幅延长,从3个月提高到超过3年,进而可保证多晶硅制备的纯度与效率。另外,冷喷涂工艺还可对已受损的电极进行修复,从而实现电极再制造。在其他工业领域中,已经实现冷喷涂技术对零部件的再制造,与制造新品相比,不但可节省成本50%、节材70%,且再制造产品已接近或超过原有新品的质量和性能。因此,冷喷技术有望成为制备多晶硅反应炉银涂层电极、修复局部失效电极的有效手段,具备非常好的市场应用前景。


专利名称
多晶硅反应炉铜电极修复及其表面银涂层制备
专利号
(1)CN110328460A
合作方式
合作开发
联系人
谢迎春
联系方式
18802034985
单位
广东省科学院新材料研究所
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